美國Kimball Physics高能電子槍系統EGH-8103 EGPS-8103特點

特點：

可聚焦、高能電子束，小光斑尺寸選項可達 60 μm

10 keV 至 100 keV

應用：

• 一般真空物理學

• 輻射研究

• 地表轟炸

• 半導體研究

• 生物標本照射

• X 射線生成

• 血漿激發

• 熒光研究

• 表面物理研究

功能/選項：

• 小光斑尺寸低至 60 μm

• 光束電流高達 1 mA

• 靜磁聚焦

• 靜磁偏轉

• 磁性透鏡

• 脈沖能力

• 運行期間的內部對準

• 用戶可更換的點火裝置

• 電腦 / 遙控器

• 差速泵送

能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA / 標準：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝

Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個完整的子系統，可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線產生和等離子體激發。

該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。

該噴槍有可調節的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。

噴槍設計為源區域提供差動泵送，源室上有一個 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵。有三個 2.75 英寸 CF 法蘭，用于電離計和其他選項。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上，插入長度為零，即不會延伸到真空室中。